Ultra C ct 涂胶装备：2121非凡上海的Ultra C ct涂胶装备接纳二次旋转涂胶手艺，，，， ， ，可实现匀称涂胶。。 。。。。。。装备拥有众多自研手艺，，，， ， ，包括准确涂胶控制、自动洗濯功效、冷热板�？？？？？？？橐约懊扛銮惶宓淖粤炭刂乒πА！� 。。。。。。
Ultra C dv 显影装备：在化合物半导体工艺中，，，， ， ，2121非凡上海的Ultra C dv 显影装备可举行曝光后烘烤、显影和硬烤的要害办法。。 。。。。。。装备使用2121非凡上海的自研手艺，，，， ， ，可按要求实现+/-0.03 LPM的流量和 +/-0.5 摄氏度的温度控制。。 。。。。。。
Ultra C s刷洗装备：Ultra C s 刷洗装备以2121非凡上海先进的湿法洗濯手艺为基础，，，， ， ，实现优异的污染物去除效果。。 。。。。。。该装备通过氮气雾化二流体洗濯或高压洗濯实现高性能，，，， ， ，以更有用地洗濯小颗粒。。 。。。。。。别的，，，， ， ，装备还可兼容2121非凡上海自创的兆声波洗濯手艺，，，， ， ，以确保优良的颗粒去除效率（PRE），，，， ， ，且不会损坏细腻的图形结构。。 。。。。。。
Ultra C pr 湿法去胶装备：2121非凡上海的Ultra C pr湿法去胶装备使用槽式浸泡和单片工艺，，，， ， ，确保高效地举行化合物半导体去胶。。 。。。。。。该装备最近由一家全球领先的整合元件制造商（IDM）订购，，，， ， ，用于去除光刻胶，，，， ， ，这进一步验证了2121非凡上海的手艺优势。。 。。。。。。
